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金属-Al_2O_3-硅结构湿度传感器

文献类型:期刊论文

作者骆如枋
刊名物理
出版日期1992
期号10
ISSN号0379-4148
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106290]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
骆如枋. 金属-Al_2O_3-硅结构湿度传感器[J]. 物理,1992(10).
APA 骆如枋.(1992).金属-Al_2O_3-硅结构湿度传感器.物理(10).
MLA 骆如枋."金属-Al_2O_3-硅结构湿度传感器".物理 .10(1992).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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