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金属-半导体比接触电阻的圆环结构测试法

文献类型:期刊论文

作者朱德光 ; 吴鼎芬
刊名物理学报
出版日期1987
期号06
ISSN号1000-3290
中文摘要本文中提出了一种测量金属-半导体欧姆接触比接触电阻的新方法-圆环结构测试法。导出了适用于半无限大和有一定厚度的半导体材料的比接触电阻表达式,用此方法进行实验测量和计算,所得结果与文献结果符合得很好。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106291]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
朱德光,吴鼎芬. 金属-半导体比接触电阻的圆环结构测试法[J]. 物理学报,1987(06).
APA 朱德光,&吴鼎芬.(1987).金属-半导体比接触电阻的圆环结构测试法.物理学报(06).
MLA 朱德光,et al."金属-半导体比接触电阻的圆环结构测试法".物理学报 .06(1987).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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