金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林成鲁 ; 邢昆山 ; 陈莉芝 ; 许学敏 ; 谭松生 ; 邹世昌 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 1990 |
| 期号 | 07 |
| 关键词 | K1 激光再结晶 SOM材料 压力传感器 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 其他题名 | T1 金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究 |
| 中文摘要 | 以CW Ar~+激光对非晶硅再结晶得到了SOM(Silicon on Metal)多晶硅新材料。其晶粒大小为10×40μm~2,杂质分布均匀,电学性能大大改善.用这种SOM材料已制备成功在1bar压力范围内灵敏度为6mV/V的性能良好的压力传感器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106295]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林成鲁,邢昆山,陈莉芝,等. 金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究[J]. 中国激光,1990(07). |
| APA | 林成鲁,邢昆山,陈莉芝,许学敏,谭松生,&邹世昌.(1990).金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究.中国激光(07). |
| MLA | 林成鲁,et al."金属薄片上无定形硅(SOM)的激光再结晶研究".中国激光 .07(1990). |
入库方式： OAI收割
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