金属镍微型静电马达的初步研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王添平 ; 王效东 ; 解健芳 ; 谭淞生 ; 王渭源 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 1995 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论. |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106306]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王添平,王效东,解健芳,等. 金属镍微型静电马达的初步研制[J]. 传感技术学报,1995(02). |
| APA | 王添平,王效东,解健芳,谭淞生,&王渭源.(1995).金属镍微型静电马达的初步研制.传感技术学报(02). |
| MLA | 王添平,et al."金属镍微型静电马达的初步研制".传感技术学报 .02(1995). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。