离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 牟海川 ; 任琮欣 ; 陈国梁 ; 朱建中 ; 杨石奇 ; 柳襄怀 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 采用离子束辅助沉积方法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷衬底上制备了ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特性测试结果表明，纯Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性优于纯ＴｉＯ２薄膜；掺入少量的Ｔｉ可使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性提高，以５ｍｏｌ％ＴｉＯ２掺杂的Ｎｂ２Ｏ５薄膜最佳；过量掺杂则使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性明显变差。在５ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中再掺入少量的Ｐｔ（０３％０５％）可使其氧敏特性更好，而且其响应时间大大缩短。Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）和Ｘ射线光电子谱（ |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106399]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 牟海川,任琮欣,陈国梁,等. 离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜[J]. 功能材料与器件学报,1997(01). |
| APA | 牟海川,任琮欣,陈国梁,朱建中,杨石奇,&柳襄怀.(1997).离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 牟海川,et al."离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜".功能材料与器件学报 .01(1997). |
入库方式： OAI收割
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