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离子束溅射制备ZnO:Zn荧光薄膜

文献类型:期刊论文

作者李炜 ; 茅东升 ; 张福民 ; 王曦 ; 柳襄怀 ; 邹世昌 ; 诸玉坤 ; 李琼 ; 徐静芳
刊名材料研究学报
出版日期2001
期号01
ISSN号1005-3093
中文摘要用离子束溅射法制备了用于场发射显示器(FED)的ZnO:Zn荧光薄膜采用RBS、XRD、 AFM、 Hall和 PL谱等手段表征了热处理前后的薄膜 RBS结果表明薄膜中存在一定数量的过量 Zn.沉积态的薄膜中同时含有非晶相和晶相,其表面形貌表现出多种结构 Hall检测发现,升高热处理温度能降低薄膜中的自由载流子浓度,说明过量Zn含量的下降;当热处理温度超过400℃时,Hall迁移率迅速上升,表明薄膜结晶性能的改善在 ZnO:Zn薄膜的 PL谱中检测到紫外/紫光、蓝/绿光两组荧光峰,一价氧空位(Vo)充当了
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106408]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
李炜,茅东升,张福民,等. 离子束溅射制备ZnO:Zn荧光薄膜[J]. 材料研究学报,2001(01).
APA 李炜.,茅东升.,张福民.,王曦.,柳襄怀.,...&徐静芳.(2001).离子束溅射制备ZnO:Zn荧光薄膜.材料研究学报(01).
MLA 李炜,et al."离子束溅射制备ZnO:Zn荧光薄膜".材料研究学报 .01(2001).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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