离子束刻蚀菲涅耳金环研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 傅新定 ; 方红丽 |
| 刊名 | 核技术
 |
| 出版日期 | 1989 |
| 期号 | 05 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 中文摘要 | 应用离子束刻蚀技术,首先确定金膜的刻蚀速率并研究台阶倾角与刻蚀参数之间的关系。最终微细加工出菲涅耳金环和多针孔金箔,分别成功地用于激光等离子体空间分布测量和激光核聚变诊断。结果表明,离子束刻蚀菲涅耳环带板是提高编码相机分辨率的关键,从而提高了测量等离子体空间分布的分辨率。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106413]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 傅新定,方红丽. 离子束刻蚀菲涅耳金环研究[J]. 核技术,1989(05). |
| APA | 傅新定,&方红丽.(1989).离子束刻蚀菲涅耳金环研究.核技术(05). |
| MLA | 傅新定,et al."离子束刻蚀菲涅耳金环研究".核技术 .05(1989). |
入库方式： OAI收割
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