脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜电容特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨平雄 ; 郑立荣 ; 倪如山 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 用ＰＬＤ方法成功地制备了ＳＢＴ铁电薄膜，并制作成Ｐｔ／ＳＢＴ／Ｐｔ薄膜电容器。ＳＢＴ薄膜的晶面取向以（００８）和（１１５）为主。在５Ｖ电压下，极化反转，并且得到较饱和的电滞回线，剩余极化强度和矫顽电场分别为８４μＣ／ｃｍ２和５７ｋｖ／ｃｍ。ＩＶ特性测试显示两个对称的双稳峰，并得到零电压下，面积为３１４×１０４μｍ２，厚度为０３５μｍ的电容器，电容约为５６０ｐＦ，介电常数约为６００。疲劳测试表明Ｐｔ／ＳＢＴ／Ｐｔ具有优良的抗疲劳特性。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106539]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨平雄,郑立荣,倪如山,等. 脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜电容特性研究[J]. 功能材料与器件学报,1997(02). |
| APA | 杨平雄,郑立荣,倪如山,&林成鲁.(1997).脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜电容特性研究.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 杨平雄,et al."脉冲激光沉积SrBi_2Ta_2O_9铁电薄膜电容特性研究".功能材料与器件学报 .02(1997). |
入库方式： OAI收割
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