脉冲准分子激光PZT薄膜的制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈逸清 ; 郑立荣 ; 林成鲁 ; 邹世昌 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 1994 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | K1 PZT 脉冲激光沉积（PLD） 铁电薄膜 |
| ISSN号 | 02587025 |
| 中文摘要 | 本实验采用脉冲准分子激光沉积（ＰＬＤ）法，在１９３ｎｍ波长，５Ｈｚ频率，４Ｊ／ｃｍ２能量密度条件下，分别在Ｓｉ（１００）和ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上成功地沉积Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）薄膜，并在不同的条件下对ＰＺＴ薄膜进行退火处理。用ＸＲＤ，ＲＢＳ，ＡＳＲ等方法分别测量了薄膜的结构、组份和厚度。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106544]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈逸清,郑立荣,林成鲁,等. 脉冲准分子激光PZT薄膜的制备[J]. 中国激光,1994(08). |
| APA | 陈逸清,郑立荣,林成鲁,&邹世昌.(1994).脉冲准分子激光PZT薄膜的制备.中国激光(08). |
| MLA | 陈逸清,et al."脉冲准分子激光PZT薄膜的制备".中国激光 .08(1994). |
入库方式： OAI收割
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