脉冲准分子激光制备PCLT热释电薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑立荣 ; 杨平雄 ; 林成鲁 ; 邹世昌 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 1998 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | K1 PCLT 脉冲激光沉积(PLD) 铁电薄膜 热释电 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 中文摘要 | 采用脉冲激光沉积的方法,在Pt/SiO_2/Si衬底上制备了掺Ca的(Pb,La)TiO_3薄膜。薄膜呈多晶结构,具有较好的铁电性和热释电性。由于掺Ca的作用,使薄膜的材料探测优值和电压响应优值几乎与单晶MgO衬底上的c轴取向的PbTiO_3或(Ph,La)TiO_3薄膜相比拟。这些较好的实验结果是在硅基衬底上的铁电薄膜中获得的,因而对研制单片集成的红外热释电阵列将有一定的意义。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106547]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑立荣,杨平雄,林成鲁,等. 脉冲准分子激光制备PCLT热释电薄膜[J]. 中国激光,1998(05). |
| APA | 郑立荣,杨平雄,林成鲁,&邹世昌.(1998).脉冲准分子激光制备PCLT热释电薄膜.中国激光(05). |
| MLA | 郑立荣,et al."脉冲准分子激光制备PCLT热释电薄膜".中国激光 .05(1998). |
入库方式： OAI收割
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