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薄膜太阳能电池异型布拉格背反射结构设计与制作

文献类型:期刊论文

作者周舟 ; 周健 ; 孙晓玮 ; 谈惠祖
刊名光学学报
出版日期2011
期号07
关键词薄膜 薄膜太阳能电池 异型布拉格背反射镜 迭代法 等离子体增强化学气相沉积
ISSN号0253-2239
中文摘要根据多光束干涉原理设计出用于薄膜太阳能电池的异型布拉格背反射器(IDBR)。该异型布拉格背反射结构由两对非晶硅(36.5 nm)/二氧化硅(81 nm)分布式布拉格反射器(DBR)结构与三对非晶硅(73 nm)/二氧化硅(162 nm)DBR结构组合而成。讨论了不同结构的背反射器性能,分析了IDBR中心波长与层数的选择依据。采用迭代法计算了IDBR的反射性能。用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上生长出具有5对α-Si:H/SiO2结构的IDBR,并测试其反射光谱曲线。实验证明该反射器在42
语种中文
公开日期2012-04-13
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106968]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
周舟,周健,孙晓玮,等. 薄膜太阳能电池异型布拉格背反射结构设计与制作[J]. 光学学报,2011(07).
APA 周舟,周健,孙晓玮,&谈惠祖.(2011).薄膜太阳能电池异型布拉格背反射结构设计与制作.光学学报(07).
MLA 周舟,et al."薄膜太阳能电池异型布拉格背反射结构设计与制作".光学学报 .07(2011).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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