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多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用

文献类型:期刊论文

作者陈立国 ; 张洋 ; 陈涛 ; 荣伟彬 ; 孙立宁
刊名压电与声光
出版日期2011
期号02
关键词纳米定位平台 拓扑优化 多目标设计 楔形预紧
ISSN号1004-2474
中文摘要纳米定位平台在微型机械和精密仪器的设计和制造领域起着重要作用。该文将拓扑优化引入到压电陶瓷驱动的一维纳米定位平台设计中,并利用多目标设计方法对平台的运动和结构需求进行了优化,采用楔形预紧结构对压电陶瓷进行紧密预紧。经有限元仿真和实验验证,该实验系统输出位移达10μm,定位精度5 nm,耦合误差小于1%。实验证明,该方法为纳米定位平台的设计和制造提供了一种新颖、灵活、有效的方法。
语种中文
公开日期2012-04-13
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106987]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈立国,张洋,陈涛,等. 多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用[J]. 压电与声光,2011(02).
APA 陈立国,张洋,陈涛,荣伟彬,&孙立宁.(2011).多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用.压电与声光(02).
MLA 陈立国,et al."多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用".压电与声光 .02(2011).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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