硅离子注入引入纳米晶对SIMOX材料进行总剂量辐射加固
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王茹 ; 张正选 ; 俞文杰 ; 毕大炜 ; 陈明 ; 刘张李 ; 宁冰旭 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 绝缘体上硅 注氧隔离 总剂量辐照 纳米晶 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 本研究工作采用硅离子注入和高温退火工艺对SIMOX材料的BOX层进行总剂量辐射加固。辐射实验结果证明了该加固方法的有效性。PL谱和HRTEM图像显示了硅离子注入及退火工艺在材料的BOX层中引入了Si纳米晶,形成电子陷阱能级,有效俘获电子,从而提高了材料BOX层的抗总剂量辐射能力。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-13 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106996]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王茹,张正选,俞文杰,等. 硅离子注入引入纳米晶对SIMOX材料进行总剂量辐射加固[J]. 功能材料与器件学报,2011(02). |
| APA | 王茹.,张正选.,俞文杰.,毕大炜.,陈明.,...&宁冰旭.(2011).硅离子注入引入纳米晶对SIMOX材料进行总剂量辐射加固.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 王茹,et al."硅离子注入引入纳米晶对SIMOX材料进行总剂量辐射加固".功能材料与器件学报 .02(2011). |
入库方式： OAI收割
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