基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈琳 ; 李伟 ; 戈肖鸿 ; 车录锋 |
| 刊名 | 半导体技术
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | 二维驱动器 塑性变形 绝缘填充槽 梳齿驱动 垂直位错 |
| ISSN号 | 1003-353X |
| 中文摘要 | 设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR IE干法刻蚀技术释放结构,最后通过Si的塑性变形工艺使驱动器外围垂直驱动部分的可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出二维梳齿驱动器。经测量,驱动器垂直驱动部分可动梳齿和固定梳齿的位错量为19.8μm。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-13 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107011]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈琳,李伟,戈肖鸿,等. 基于Si塑性变形的二维驱动器的设计[J]. 半导体技术,2011(08). |
| APA | 陈琳,李伟,戈肖鸿,&车录锋.(2011).基于Si塑性变形的二维驱动器的设计.半导体技术(08). |
| MLA | 陈琳,et al."基于Si塑性变形的二维驱动器的设计".半导体技术 .08(2011). |
入库方式： OAI收割
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