基于静电力的微液滴驱动芯片
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘翔 ; 高安然 ; 李铁 ; 周萍 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感器与微系统
 |
| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 微流控 液滴 静电驱动 共平面电极 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层。实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最小驱动电压为15V,最大运动速度达96mm/s。芯片制作工艺简单,操作方便,可应用于生化分析芯片实验室系统。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-13 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107023]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘翔,高安然,李铁,等. 基于静电力的微液滴驱动芯片[J]. 传感器与微系统,2011(02). |
| APA | 刘翔,高安然,李铁,周萍,&王跃林.(2011).基于静电力的微液滴驱动芯片.传感器与微系统(02). |
| MLA | 刘翔,et al."基于静电力的微液滴驱动芯片".传感器与微系统 .02(2011). |
入库方式： OAI收割
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