新型MEMS质量传感器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 熊磊 ; 焦继伟 ; 葛道晗 ; 宓斌伟 ; 张轩雄 |
| 刊名 | 仪表技术与传感器
 |
| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | MEMS 谐振器 质量传感器 自补偿 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 中文摘要 | 研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,腔外的真空环境使得圆盘谐振器受到更小的阻尼。利用ANSYS对圆盘在质量吸附前后的模态及频率分裂进行仿真,计算结果显示对质量的测量灵敏度达pg量级。采用MEMS双牺牲层工艺方法成功制作出具有双层结构的空心圆盘谐振器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-13 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107055]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊磊,焦继伟,葛道晗,等. 新型MEMS质量传感器的研究[J]. 仪表技术与传感器,2011(08). |
| APA | 熊磊,焦继伟,葛道晗,宓斌伟,&张轩雄.(2011).新型MEMS质量传感器的研究.仪表技术与传感器(08). |
| MLA | 熊磊,et al."新型MEMS质量传感器的研究".仪表技术与传感器 .08(2011). |
入库方式： OAI收割
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