有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈平 ; 焦继伟 ; 葛道晗 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感器与微系统
 |
| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 11 |
| 关键词 | 多孔硅 微机电系统 有机溶剂 快速腐蚀 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 近年来,多孔硅以其良好的光学、热学、电学以及机械特性使其在微传感器技术领域得到广泛的应用,电化学腐蚀多孔硅的各种方法与原理引起越来越多的关注。研究了P型硅的电化学腐蚀过程中,在腐蚀溶液中使用有机溶剂对多孔硅的制备、速率、成孔机理等方面的影响。研究发现,在分别使用有机溶剂二甲基甲酰胺(DMF)和二甲基亚砜(DMSO)的氢氟酸(HF)腐蚀溶液中,可以制备出孔壁光滑、具有高深宽比的高质量P型宏多孔硅,并发现了一种快速腐蚀P型宏多孔硅的方法,得到高达1900μm/h的腐蚀速率,这有助于提高多孔硅在微传感器批量化生 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-13 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107077]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈平,焦继伟,葛道晗,等. 有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究[J]. 传感器与微系统,2011(11). |
| APA | 陈平,焦继伟,葛道晗,&王跃林.(2011).有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究.传感器与微系统(11). |
| MLA | 陈平,et al."有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究".传感器与微系统 .11(2011). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。