互补结构微图案化制作倒梯形结构的方法
文献类型：专利
| 作者 | 韩艳春 ; 邢汝博 ; 于新红 |
| 发表日期 | 2008-12-17 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 公开日期 | 2010-03-19 ; 2010-10-13 |
| 申请日期 | 2006-07-07 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610016995.6 |
| 源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/8911]  |
| 专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩艳春,邢汝博,于新红. 互补结构微图案化制作倒梯形结构的方法. 2008-12-17. |
入库方式： OAI收割
来源：长春应用化学研究所
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