感应耦合射频等离子体(英)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱清文 |
| 刊名 | 工业加热
 |
| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 4页码:53-56 |
| 关键词 | 感应耦合 射频等离子体 等离子炬 感应等离子体 耦合效率 维持功率 光谱化学 趋肤深度 大气压状态 |
| ISSN号 | 1002-1639 |
| 通讯作者 | 朱清文 |
| 中文摘要 | <正> 本文根据Maher Ⅰ.Boulos的“感应耦合射频等离子体”一文,重点介绍其中的感应耦合射频等离子体的基本原理,主要的设计特点和应用部分。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/37174]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱清文. 感应耦合射频等离子体(英)[J]. 工业加热,1986(4):53-56. |
| APA | 朱清文.(1986).感应耦合射频等离子体(英).工业加热(4),53-56. |
| MLA | 朱清文."感应耦合射频等离子体(英)".工业加热 .4(1986):53-56. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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