振动对长程面形仪测量精度的影响研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 孙晖 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008-06-03 |
| 授予单位 | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 授予地点 | 上海应用物理研究所 |
| 导师 | 徐洪杰 |
| 关键词 | 振动 长程面形仪 测量精度 稳定性 误差 |
| 其他题名 | Effect of Vibration on the Precision of Long Trace Profiler |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 中文摘要 | 同步辐射装置的长足发展使得系统对所使用的光学元件的表面质量和形貌参数的要求越来越高，相应的对轮廓测量仪器的技术指标要求也越来越高。同步辐射多采用掠入射反射镜，光学镜一般表现为窄而长形状，长度可达1m以上，工作表面为非球面，且对表面轮廓精度要求极高，使得传统的光学轮廓测量方法难以适用。这促进了笔形束扫描的新型轮廓仪—长程面形仪的发明、改进和发展，在同步辐射工程中获得广泛应用。由于仪器精度要求非常高，振动等环境因素对测量精度的影响较为灵敏。该仪器的工作环境要求相对较高，需要环境温度、空气流动、振动等都要得到很好的控制，才能达到设计的测量精度。本论文就振动对LTP测量精度的影响进行了较为系统的理论和实验研究。在理论分析中，建立了相关物理模型，并据此较为系统地分析了振动对LTP测量误差影响的机理。搭建了相关的振动测试装置，并通过实验较为系统地研究了振动对LTP静态稳定性的影响。理论分析和实验结果相符，并得到了以下结论：一、水平方向上的振动对LTP测量精度的影响较小、可以忽略，而垂直方向的振动对测量精度影响较大。因此，在仪器运行过程中应尽量避免垂直振动，如人在仪器附近的走动等；二、采用衍射准直原理新型LTP对振动具有较强的抗干扰性，在通常的实验室环境下振动对该类新型LTP的稳定性影响较小。只要仪器附近无较强振动源即可保证测量精度。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-11 |
| 页码 | 49 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/7302]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙晖. 振动对长程面形仪测量精度的影响研究[D]. 上海应用物理研究所. 中国科学院上海应用物理研究所. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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