极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹宇婷 ; 王向朝 ; 邱自成 ; 彭 勃 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 31期号:4 |
| 公开日期 | 2012-04-26 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10512]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹宇婷,王向朝,邱自成,等. 极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究[J]. 光学学报,2011,31(4). |
| APA | 曹宇婷,王向朝,邱自成,&彭 勃.(2011).极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究.光学学报,31(4). |
| MLA | 曹宇婷,et al."极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究".光学学报 31.4(2011). |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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