A MONOLITHICALLY INTEGRATED 3-AXIS THERMAL-CONVECTIVE ACCELEROMETER WITH A PNEUMATICALLY CURVED THERMOPILE-CANTILEVER FOR Z-AXIS SENSING
文献类型：会议论文
| 作者 | Quan Wang, Xinxin Li |
| 出版日期 | 2011 |
| 会议名称 | Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems |
| 会议日期 | 2011 |
| 页码 | 2018-2021 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107633]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Quan Wang, Xinxin Li. A MONOLITHICALLY INTEGRATED 3-AXIS THERMAL-CONVECTIVE ACCELEROMETER WITH A PNEUMATICALLY CURVED THERMOPILE-CANTILEVER FOR Z-AXIS SENSING[C]. 见:Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. 2011. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。