3D MICROELECTRODE BASED ON INTEGRATED MICRO AND NANO ARCHITECTURES
文献类型：会议论文
| 作者 | J.Z. Sun, Y. Li, C. Bian, J.H. Tong, H.P. Dong, H. Zhang, Q.Y. Chen, S.H. Xia |
| 出版日期 | 2011 |
| 会议名称 | Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems |
| 会议日期 | 2011 |
| 页码 | 5-9 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107641]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | J.Z. Sun, Y. Li, C. Bian, J.H. Tong, H.P. Dong, H. Zhang, Q.Y. Chen, S.H. Xia. 3D MICROELECTRODE BASED ON INTEGRATED MICRO AND NANO ARCHITECTURES[C]. 见:Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. 2011. |
入库方式： OAI收割
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