INTERGRATED RESONANT CANTILEVER SENSORS WITH 2nd TORSION-MODE FOR fg-LEVEL RESOLUBLE BIOMEDICAL DETECTION
文献类型：会议论文
| 作者 | Dazhong Jin, Xinxin Li, Zhixiang Zhang, Hanhan Bao, Yuelin Wang, Jian Liu, Haitai Yu |
| 出版日期 | 2007 |
| 会议名称 | IEEE MEMS 2007:20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems |
| 会议日期 | 2007 |
| 页码 | 107 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107646]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Dazhong Jin, Xinxin Li, Zhixiang Zhang, Hanhan Bao, Yuelin Wang, Jian Liu, Haitai Yu. INTERGRATED RESONANT CANTILEVER SENSORS WITH 2nd TORSION-MODE FOR fg-LEVEL RESOLUBLE BIOMEDICAL DETECTION[C]. 见:IEEE MEMS 2007:20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. 2007. |
入库方式： OAI收割
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