Thermopile IR detector with filter cointegrated by wafer bonding technique
文献类型：会议论文
| 作者 | Xu, D. H. ; Xiong, B. ; Jing, E. R. ; Wu, G. Q. ; Wang, Y. L. |
| 出版日期 | 2011 |
| 会议名称 | IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems |
| 会议日期 | 2011 |
| 页码 | 724-727 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107654]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xu, D. H.,Xiong, B.,Jing, E. R.,et al. Thermopile IR detector with filter cointegrated by wafer bonding technique[C]. 见:IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems. 2011. |
入库方式： OAI收割
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