Z-axis differential silicon-on-insulator resonant accelerometer with high sensitivity
文献类型：期刊论文
| 作者 | Shang, YL ; Wang, JB ; Tu, S ; Liu, L ; Chen, DY |
| 刊名 | MICRO & NANO LETTERS
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| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 6期号:7 Pages页码:519-522 |
| 公开日期 | 2012-05-12 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/109051]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_传感技术联合国家重点实验室_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Shang, YL,Wang, JB,Tu, S,et al. Z-axis differential silicon-on-insulator resonant accelerometer with high sensitivity[J]. MICRO & NANO LETTERS,2011,6(7 Pages):519-522. |
| APA | Shang, YL,Wang, JB,Tu, S,Liu, L,&Chen, DY.(2011).Z-axis differential silicon-on-insulator resonant accelerometer with high sensitivity.MICRO & NANO LETTERS,6(7 Pages),519-522. |
| MLA | Shang, YL,et al."Z-axis differential silicon-on-insulator resonant accelerometer with high sensitivity".MICRO & NANO LETTERS 6.7 Pages(2011):519-522. |
入库方式： OAI收割
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