纳米金属薄膜电磁响应特性的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘志敏 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 授予地点 | 金属研究所 |
| 导师 | 闻立时 |
| 关键词 | 铝膜 电导率 尺寸效应 微波吸收率 S参数反演 等效介电常数 有限元模拟 |
| 其他题名 | Investigation on Electromagnetic Response Properties of Thin Metallic Films |
| 学位专业 | 材料加工工程 |
| 中文摘要 | 纳米金属薄膜是指厚度在纳米量级的由金属晶粒（或颗粒）构成的薄膜。由于表面效应、体积效应和纳米尺寸效应，金属薄膜呈现出与金属块体材料不同的新特性，因而具有良好的应用前景。 本论文工作将通过研究纳米金属薄膜生长过程中厚度和表面形貌，了解沉积参数与纳米金属薄膜导电性能，介电特性的关系；通过研究纳米金属薄膜与电磁波发生电磁响应的可能模式，力图建立结构参数与等效电磁参数之间的对应关系。在此基础上，提高纳米金属薄膜电磁特性的可控性、可调性，为实际应用提供理论和实验依据。 金属薄膜的本征电磁参数和吸收率实验结果表明：在考虑表面散射、晶界散射后，利用电导率尺寸效应模型计算的结果与实验结果符合得很好。在铝膜和电介质层复合结构中，厚度在纳米量级的铝膜，对电磁波存在一定的吸收，且吸收率与铝膜电导率的尺寸效应对应相关；复合结构整体吸收率的大小与电介质层的厚度和介电常数、入射波角度和极化方式有关。考虑铝膜电导率的尺寸效应后，微波吸收率峰高计算结果与实测结果符合得相当好。 另外，为验证有关结果，利用有限元模拟软件Ansoft’s HFSSTM对铝膜/电介质复合结构的吸收特性进行了模拟，并根据S参数反演理论开发出一套薄膜等效电磁参数测试程序，由此得到了薄膜的等效介电常数和磁导率随薄膜厚度变化的基本规律。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-04-10 |
| 页码 | 97 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/17191]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘志敏. 纳米金属薄膜电磁响应特性的研究[D]. 金属研究所. 中国科学院金属研究所. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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