交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王鸣 ; 张滨 ; 刘常升 ; 张广平 |
| 刊名 | 金属学报
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| 出版日期 | 2011-05-11 |
| 期号 | 5页码:601-604 |
| 关键词 | Au薄膜 交流电 热疲劳 |
| 中文摘要 | 本文研究了交流电致循环热应变作用下200 nm厚Au薄膜的失效行为.结合实验结果和理论计算,确定了交流电作用下6μm宽Au薄膜导线上的温度分布,并由此确定了Au互连线在交流电作用下达到稳定状态后的循环热应变范围.结果表明,应变范围△ε≤0.35%,经过5×10~6cyc热循环后,Au互连线中的晶粒出现不同程度的增长,晶界损伤导致Au互连线的最终失效.对Au薄膜热疲劳、机械疲劳失效行为及其机制进行了分析. |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23444]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王鸣,张滨,刘常升,等. 交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究[J]. 金属学报,2011(5):601-604. |
| APA | 王鸣,张滨,刘常升,&张广平.(2011).交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究.金属学报(5),601-604. |
| MLA | 王鸣,et al."交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究".金属学报 .5(2011):601-604. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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