氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈康敏 ; 张晓柠 ; 郑陈超 ; 黄燕 ; 关庆丰 ; 宫磊 ; 孙超 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2010-11-15 |
| 期号 | 6页码:662-666 |
| 关键词 | 电弧离子镀 CrNx薄膜 氮气分压 组织结构 |
| 中文摘要 | 利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrNx薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响。结果表明,随着氮气分压的升高,CrNx薄膜表面熔滴的数量及尺寸减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在氮气分压为1.0 Pa时由Cr2N相变为CrN相;同时因氮气分压改变粒子、离子的轰击作用,影响薄膜表面的能量状态,CrNx薄膜晶体的择优生长由(200),(220)变为(111)。在氮气分压为1.5 Pa时可获得高沉积效率、高致密度、高硬度,并具有纳米晶体结构的单相CrN薄膜。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23619]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈康敏,张晓柠,郑陈超,等. 氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响[J]. 真空科学与技术学报,2010(6):662-666. |
| APA | 陈康敏.,张晓柠.,郑陈超.,黄燕.,关庆丰.,...&孙超.(2010).氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响.真空科学与技术学报(6),662-666. |
| MLA | 陈康敏,et al."氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响".真空科学与技术学报 .6(2010):662-666. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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