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脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响

文献类型:期刊论文

作者张晓柠 ; 陈康敏 ; 郑陈超 ; 黄燕 ; 关庆丰 ; 宫磊 ; 孙超
刊名航空材料学报
出版日期2010-10-01
期号5页码:73-77
关键词电弧离子镀 脉冲偏压 CrNx薄膜 组织结构
中文摘要利用电弧离子镀技术在TC4基体上制备CrNx薄膜,研究了脉冲偏压对薄膜的组织结构和力学性能的影响。结果表明,在一定范围内提高脉冲偏压可以显著减少薄膜表面熔滴的数量及尺寸,改善表面平整度,获得高质量的薄膜;同时随着脉冲偏压的升高,CrNx薄膜由CrN单相变为Cr,Cr2N和CrN三相组成,硬度与结合强度的峰值可分别达到24294.2MPa和43N;薄膜的摩擦系数在偏压幅值为-300V时具有最小值0.43。
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23696]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张晓柠,陈康敏,郑陈超,等. 脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响[J]. 航空材料学报,2010(5):73-77.
APA 张晓柠.,陈康敏.,郑陈超.,黄燕.,关庆丰.,...&孙超.(2010).脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响.航空材料学报(5),73-77.
MLA 张晓柠,et al."脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响".航空材料学报 .5(2010):73-77.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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