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斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征

文献类型:期刊论文

作者朱圣龙 ; 曹硕 ; 李淑梅 ; 张春刚 ; 谢冬柏 ; 王文 ; 辛丽 ; 王福会
刊名腐蚀科学与防护技术
出版日期2008-03-25
期号2页码:86-90
关键词斜入射磁控溅射 Ni-Cr-Al 氧化膜
中文摘要研究了1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其在1000℃空气中形成的氧化膜的组织结构.涂层采用Ni-7Cr-8Al合金靶磁控溅射方法制备.沉积过程中样品静止不动,名义入射角分别为0°和45°.这两种样品在本文中分别称为正入射和斜入射沉积涂层.研究结果表明:两种涂层的晶体结构均为f.c.c.γ-Ni,并且都具有典型的柱状晶组织结构,所不同的是,正入射沉积涂层的柱状晶垂直表面,斜入射涂层的柱状晶与法线间的角度大约为32°,并且后者看起来较疏松.在1000℃空气中50 h内,正入射沉积Ni-7Cr-8Al涂层表面可形成纯α-Al2O3保护性氧化膜,斜入射涂层氧化行为较复杂.氧化10h后的涂层表面为均匀致密的α-Al2O3氧化物;氧化20 h后氧化膜主要为等轴晶形状Fe2O3和NiCrO3,此外还有很多尺寸为几微米的小孔;氧化50 h后,氧化物发生大面积剥落,氧化膜内有大量孔洞,残留的表面氧化物主要由Fe2O3和NiCrO3组成.
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24465]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
朱圣龙,曹硕,李淑梅,等. 斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征[J]. 腐蚀科学与防护技术,2008(2):86-90.
APA 朱圣龙.,曹硕.,李淑梅.,张春刚.,谢冬柏.,...&王福会.(2008).斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征.腐蚀科学与防护技术(2),86-90.
MLA 朱圣龙,et al."斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征".腐蚀科学与防护技术 .2(2008):86-90.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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