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中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce薄膜及其光致发光特性

文献类型:期刊论文

作者廖国进 ; 巴德纯 ; 闻立时 ; 朱振华 ; 刘斯明
刊名稀有金属材料与工程
出版日期2008-03-15
期号3页码:490-494
关键词光致发光 Al2O3 薄膜 磁控溅射 稀土元素
中文摘要用中频反应磁控溅射技术制备了Al2O3:Ce3+的非晶薄膜。XPS监测显示,薄膜中有Ce3+生成。这些薄膜的光致发光峰是在374nm附近,它来自于Ce3+离子的5d1激发态向基态4f1的两个劈裂能级的跃迁。发光强度强烈地依赖于薄膜的掺杂浓度,但发光峰位置不随掺杂浓度而变化。Ce3+含量和薄膜的化学成分是通过X射线散射能谱(EDS)测量的。薄膜试样的晶体结构应用X射线衍射分析。俄歇电子谱用于对薄膜材料的化学组分进行定性分析。发射纯蓝光的Al2O3:Ce3+非晶薄膜在平板显示等领域有着广泛的潜在应用前景。
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24470]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
廖国进,巴德纯,闻立时,等. 中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce薄膜及其光致发光特性[J]. 稀有金属材料与工程,2008(3):490-494.
APA 廖国进,巴德纯,闻立时,朱振华,&刘斯明.(2008).中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce薄膜及其光致发光特性.稀有金属材料与工程(3),490-494.
MLA 廖国进,et al."中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce薄膜及其光致发光特性".稀有金属材料与工程 .3(2008):490-494.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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