磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 巴德纯 ; 常学森 ; 闻立时 ; 刘坤 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2007-03-30 |
| 期号 | 2页码:155-158 |
| 关键词 | TiO2薄膜 亲水特性 反应溅射 真空度 |
| 中文摘要 | 采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面之间的接触角。不同工艺条件下制备的TiO2薄膜接触角相差很大。在纯氧条件下,薄膜制备的真空度对薄膜的亲水性有着决定性的影响。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/24769]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巴德纯,常学森,闻立时,等. 磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究[J]. 真空科学与技术学报,2007(2):155-158. |
| APA | 巴德纯,常学森,闻立时,&刘坤.(2007).磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究.真空科学与技术学报(2),155-158. |
| MLA | 巴德纯,et al."磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究".真空科学与技术学报 .2(2007):155-158. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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