纳米Al膜的微波介电特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘健钢 ; 王铁钢 ; 杜昊 ; 宫骏 ; 孙超 ; 闻立时 |
| 刊名 | 金属功能材料
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| 出版日期 | 2006-02-28 |
| 期号 | 1页码:24-26 |
| 关键词 | 纳米Al膜 介电常数 尺寸效应 |
| 中文摘要 | 研究了不同厚度的纳米Al膜在2~18GHz频率的介电特性。结果表明:纳米Al膜的介电常数具有尺寸效应,并在33nm时出现极值。薄膜的介电常数随电磁波频率的变化而变化。纳米Al膜直流电导率的实验结果,证明了薄膜结构变化是导致介电常数随厚度变化的直接原因。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25120]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘健钢,王铁钢,杜昊,等. 纳米Al膜的微波介电特性研究[J]. 金属功能材料,2006(1):24-26. |
| APA | 刘健钢,王铁钢,杜昊,宫骏,孙超,&闻立时.(2006).纳米Al膜的微波介电特性研究.金属功能材料(1),24-26. |
| MLA | 刘健钢,et al."纳米Al膜的微波介电特性研究".金属功能材料 .1(2006):24-26. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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