热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 2005-04-11 |
| 期号 | 4页码:437-443 |
| 关键词 | 热丝化学气相沉积 耦合模型 空间场 模拟计算 |
| 中文摘要 | 根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场 的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处 的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度 的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比 较适宜的热丝几何参数. |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25421]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠. 热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析[J]. 金属学报,2005(4):437-443. |
| APA | 李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠.(2005).热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析.金属学报(4),437-443. |
| MLA | 李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠."热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析".金属学报 .4(2005):437-443. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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