脉冲负偏压增强的高质量金刚石薄膜的沉积
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李建国,刘实,李依依,胡东平,李军,季锡林,李力,周德惠 |
| 刊名 | 金刚石与磨料磨具工程
 |
| 出版日期 | 2004-08-30 |
| 期号 | 4页码:40-42+45 |
| 关键词 | 脉冲偏压 金刚石薄膜 频率 |
| 中文摘要 | 由于直流偏压方法沉积金刚石薄膜易出现电荷积聚现象 ,从而影响了薄膜的均匀性。本文采用脉冲负偏压增强热丝化学气相沉积 (HFCVD)法 ,以WC -Co硬质合金为衬底制备金刚石薄膜 ,探讨了在不同频率脉冲直流偏压 (5 0 0～5 0 0 0Hz)下 ,脉冲偏压对金刚石薄膜的均匀性、致密性和晶粒度的影响 ,并且讨论了脉冲偏压作用的机理。对沉积的金刚石薄膜进行SEM、XRD和Raman分析。结果表明 ,采用 5 0 0Hz脉冲偏压可获得高质量的金刚石薄膜 ,薄膜的晶粒度小 ,均匀性和致密性较好。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25608]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李建国,刘实,李依依,胡东平,李军,季锡林,李力,周德惠. 脉冲负偏压增强的高质量金刚石薄膜的沉积[J]. 金刚石与磨料磨具工程,2004(4):40-42+45. |
| APA | 李建国,刘实,李依依,胡东平,李军,季锡林,李力,周德惠.(2004).脉冲负偏压增强的高质量金刚石薄膜的沉积.金刚石与磨料磨具工程(4),40-42+45. |
| MLA | 李建国,刘实,李依依,胡东平,李军,季锡林,李力,周德惠."脉冲负偏压增强的高质量金刚石薄膜的沉积".金刚石与磨料磨具工程 .4(2004):40-42+45. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。