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Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系

文献类型:期刊论文

作者覃明,嵇宁,李家宝,马素媛,陈昌荣,宋忠孝,何家文
刊名金属学报
出版日期2004-07-11
期号7页码:716-720
关键词Cu膜 二维应力 屈服强度 退火温度 X射线拉伸实验
中文摘要利用X射线拉伸实验研究了具有二维残余应力的Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系.结果表明, Cu附着膜的条件屈服点随着退火温度的增高而减小,退火温度在150-300℃间变化时,减小幅度最大,出现明显的拐点.这主要由于Cu附着膜在该温度范围内发生了再结晶,使得原有的大部分组织结构强化因素消失了. Cu附着膜的屈服强度远远高于块体Cu材的屈服强度.
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25671]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
覃明,嵇宁,李家宝,马素媛,陈昌荣,宋忠孝,何家文. Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系[J]. 金属学报,2004(7):716-720.
APA 覃明,嵇宁,李家宝,马素媛,陈昌荣,宋忠孝,何家文.(2004).Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系.金属学报(7),716-720.
MLA 覃明,嵇宁,李家宝,马素媛,陈昌荣,宋忠孝,何家文."Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系".金属学报 .7(2004):716-720.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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