基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蔺增,巴德纯,王志,闻立时 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2004-01-30 |
| 期号 | 1页码:82-85 |
| 关键词 | 类金刚石薄膜 不锈钢 射频等离子体增强化学气相沉积 摩擦 磨损 |
| 中文摘要 | 讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25858]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔺增,巴德纯,王志,闻立时. 基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性[J]. 真空科学与技术学报,2004(1):82-85. |
| APA | 蔺增,巴德纯,王志,闻立时.(2004).基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性.真空科学与技术学报(1),82-85. |
| MLA | 蔺增,巴德纯,王志,闻立时."基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性".真空科学与技术学报 .1(2004):82-85. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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