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光激发荧光谱术分析Co-Cr-Al(Y)纳米涂层的氧化 Ⅱ.Al_2O_3膜应力测量与分析

文献类型:期刊论文

作者彭晓,王福会,D.R.Clarke
刊名金属学报
出版日期2003-10-11
期号10页码:1060-1064
关键词光激发荧光谱术 Al2O3 残余应力 磁控溅射Co-Cr-Al(Y) 纳米涂层
中文摘要用光激发荧光谱术分析测量磁控溅射Co—Cr-Al(Y)纳米涂层经1000,1100和1200℃氧化后Al2O3膜中的残余应力,获得如下结果: (1)残余应力随氧化温度升高而增大; (2)暂态氧化出现的区域应力值明显低于无暂态氧化的区域; (3)两种涂层1000℃下形成的氧化膜中的残余应力相差不大,但在1100和1200℃下,含Y涂层形成的氧化膜中的残余应力比不含Y中的高.对实验结果进行了分析.
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25973]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
彭晓,王福会,D.R.Clarke. 光激发荧光谱术分析Co-Cr-Al(Y)纳米涂层的氧化 Ⅱ.Al_2O_3膜应力测量与分析[J]. 金属学报,2003(10):1060-1064.
APA 彭晓,王福会,D.R.Clarke.(2003).光激发荧光谱术分析Co-Cr-Al(Y)纳米涂层的氧化 Ⅱ.Al_2O_3膜应力测量与分析.金属学报(10),1060-1064.
MLA 彭晓,王福会,D.R.Clarke."光激发荧光谱术分析Co-Cr-Al(Y)纳米涂层的氧化 Ⅱ.Al_2O_3膜应力测量与分析".金属学报 .10(2003):1060-1064.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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