薄膜几种重要力学性能的评价
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI |
| 刊名 | 理化检验(物理分册)
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| 出版日期 | 2003-09-25 |
| 期号 | 9页码:441-446 |
| 关键词 | 薄膜 屈服强度 加工硬化指数 残余应力 泊松比 杨氏模量 |
| 中文摘要 | 提出了一种利用X射线应力分析技术和应变电测法测量附着膜的等效应力———等效单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法。利用该方法测得一种厚度为2.5μm的TiN膜的条件屈服点σ0.1和σ0.2分别等于4.2GPa和4.4GPa,加工硬化指数n为0.36;对于一种厚度为2.4μm的铜膜,得到σ0.1=328MPa,σ0.2=415MPa,n=0.62。利用无应变剥层技术逐层剥离薄膜,同时测量基片曲率半径的变化,由此测得了一种厚度为2.3μm的TiN膜的残余应力沿层深分布。用新建立的一种利用X射线应力分析法测量薄膜泊松比的技术,测出一种TiN膜的泊松比等于0 27。给出了测量陶瓷膜的杨氏模量的设想。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/25990]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI. 薄膜几种重要力学性能的评价[J]. 理化检验(物理分册),2003(9):441-446. |
| APA | 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI.(2003).薄膜几种重要力学性能的评价.理化检验(物理分册)(9),441-446. |
| MLA | 李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI."薄膜几种重要力学性能的评价".理化检验(物理分册) .9(2003):441-446. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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