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电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度

文献类型:期刊论文

作者纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时
刊名金属学报
出版日期2003-09-11
期号9页码:979-983
关键词Cr2O3薄膜 电弧离子镀 组织结构 脉冲偏压
中文摘要采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为-100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa.
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26002]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时. 电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度[J]. 金属学报,2003(9):979-983.
APA 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时.(2003).电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度.金属学报(9),979-983.
MLA 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时."电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度".金属学报 .9(2003):979-983.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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