电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度
文献类型:期刊论文
作者 | 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时 |
刊名 | 金属学报
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出版日期 | 2003-09-11 |
期号 | 9页码:979-983 |
关键词 | Cr2O3薄膜 电弧离子镀 组织结构 脉冲偏压 |
中文摘要 | 采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为-100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa. |
公开日期 | 2012-04-12 |
源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26002] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时. 电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度[J]. 金属学报,2003(9):979-983. |
APA | 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时.(2003).电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度.金属学报(9),979-983. |
MLA | 纪爱玲,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,闻立时."电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度".金属学报 .9(2003):979-983. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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