热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算
文献类型：期刊论文
| 作者 | 汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时 |
| 刊名 | 材料研究学报
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| 出版日期 | 2003-08-25 |
| 期号 | 4页码:345-352 |
| 关键词 | 材料科学基础学科 空间场 模拟计算 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 |
| 中文摘要 | 使用在连续介质中建立的二维流场数学模型,模拟计算了在用HFCVD方法生长金刚石薄膜过程中影响气体温度分布的多个沉积工艺参数,研究了气体的速度和体密度的空间分布。结果表明,在优化工艺参数条件下,高温热丝的热阻塞作用导致气体状态参数的不均匀空间分布;在热丝附近气体的速度大而靠近反应腔体侧壁处小;热丝附近处气体体密度减小而靠近冷反应腔体例壁处增加,采用绝热或高等温边界的反应腔管道壁可以消除气体的热绕流现象,有利于大面积金刚石薄膜的快速均匀生长。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26018]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时. 热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算[J]. 材料研究学报,2003(4):345-352. |
| APA | 汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时.(2003).热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算.材料研究学报(4),345-352. |
| MLA | 汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时."热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算".材料研究学报 .4(2003):345-352. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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