TiN附着膜的应力-应变关系
文献类型：期刊论文
| 作者 | 覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利 |
| 刊名 | 金属学报
 |
| 出版日期 | 2003-07-11 |
| 期号 | 7页码:721-724 |
| 关键词 | TiN膜 双轴应力 应力-应变关系 X射线拉伸实验 纳米压痕法 |
| 中文摘要 | 利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜,借助X射线应力分析技术和微拉伸设备,测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变,进而求其等效应力-等效单轴应变关系,并由此算得它的条件屈服点σ_(0.1)和σ_(0.2)分别为4.2和4.4 GPa,加工硬化指数为0.36,用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa,弹性模量为420 GPa,TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26060]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利. TiN附着膜的应力-应变关系[J]. 金属学报,2003(7):721-724. |
| APA | 覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利.(2003).TiN附着膜的应力-应变关系.金属学报(7),721-724. |
| MLA | 覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利."TiN附着膜的应力-应变关系".金属学报 .7(2003):721-724. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。