采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2002-09-15 |
| 期号 | 3页码:251-255 |
| 关键词 | TMAH 粗糙度 腐蚀速率 各向异性。 |
| 中文摘要 | TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26413]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波. 采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析[J]. 传感技术学报,2002(3):251-255. |
| APA | 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波.(2002).采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析.传感技术学报(3),251-255. |
| MLA | 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波."采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析".传感技术学报 .3(2002):251-255. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。