Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林 |
| 刊名 | 东北大学学报
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| 出版日期 | 2002-04-30 |
| 期号 | 4页码:391-393 |
| 关键词 | Nd:YAG脉冲激光 激光诱导化学沉积 选区化学镀 Si基底 |
| 中文摘要 | Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线? 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s?SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况?以Ag颗粒为催化中心 ,在沉积线表面选区化学镀铜 ,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力? 简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26550]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林. Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银[J]. 东北大学学报,2002(4):391-393. |
| APA | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林.(2002).Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银.东北大学学报(4),391-393. |
| MLA | 孙克,赵岩,张彩碚,李正林."Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银".东北大学学报 .4(2002):391-393. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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