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金刚石膜的制备和高取向生长

文献类型:期刊论文

作者孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时
刊名炭素技术
出版日期2002-02-28
期号1页码:34-41
关键词化学气相沉积 金刚石膜 合成技术 高取向
中文摘要金刚石膜是最近世界上研究最广泛的材料之一。在本文中 ,简要介绍了低压化学气相沉积金刚石薄膜的合成技术及高取向生长 ,并对存在的一些问题进行了分析和讨论
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26619]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时. 金刚石膜的制备和高取向生长[J]. 炭素技术,2002(1):34-41.
APA 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时.(2002).金刚石膜的制备和高取向生长.炭素技术(1),34-41.
MLA 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时."金刚石膜的制备和高取向生长".炭素技术 .1(2002):34-41.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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