ZAO薄膜的研究现状及发展趋势
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陆峰,徐成海,闻立时 |
| 刊名 | 真空与低温
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| 出版日期 | 2001-09-30 |
| 期号 | 3页码:3-7 |
| 关键词 | ZAO薄膜 溅射 |
| 中文摘要 | 针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点 ,提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。从该膜的基本性能入手介绍了它的优点 ,国内外研究及发展现状 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26830]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆峰,徐成海,闻立时. ZAO薄膜的研究现状及发展趋势[J]. 真空与低温,2001(3):3-7. |
| APA | 陆峰,徐成海,闻立时.(2001).ZAO薄膜的研究现状及发展趋势.真空与低温(3),3-7. |
| MLA | 陆峰,徐成海,闻立时."ZAO薄膜的研究现状及发展趋势".真空与低温 .3(2001):3-7. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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