热丝法化学气相沉积金刚石膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时 |
| 刊名 | 材料研究学报
 |
| 出版日期 | 2000-12-30 |
| 期号 | S1页码:81-83 |
| 关键词 | 热丝法 金刚石膜 分送 混送 |
| 中文摘要 | 用热丝法沉积金刚石膜，分离送入氢气和甲烷，可以减少钨丝碳化，提高功率利用率分送与混进相结合，可以制备晶体形态良好的金刚石膜到达基材表面的活性粒子的数量是提高金刚石膜生长速率的关键生长速率可达 ３．８μｍ／ｈ，均匀区面积达 ４００ｍｍ２ |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27090]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时. 热丝法化学气相沉积金刚石膜[J]. 材料研究学报,2000(S1):81-83. |
| APA | 曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时.(2000).热丝法化学气相沉积金刚石膜.材料研究学报(S1),81-83. |
| MLA | 曹小明,张军旗,黄荣芳,闻立时."热丝法化学气相沉积金刚石膜".材料研究学报 .S1(2000):81-83. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。