大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时 |
| 刊名 | 材料研究学报
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| 出版日期 | 2000-12-25 |
| 期号 | 6页码:609-614 |
| 关键词 | 热丝化学气相沉积 金刚石膜 大面积生长 物理参数分布 |
| 中文摘要 | 研究了在热丝化学气相生长金刚石的过程中、衬底温度、衬底表面附近的气体温度以及气流的 质量流密度分布对金刚石膜的形核和生长的影响，模拟计算结果表明，这三个参量是空间位置的函数，在 某些区域，这三个参量均匀分布。当热丝阵列面与衬底间距离超过７ｍｍ之后，这三个参量在衬底上有一 个较大的均匀区域，在该区域的两侧，各参量值显著变化，在衬底中心的均匀区域，金刚石膜晶形清楚而致 密；偏离该区域，这三个参量数值明显下降，形核密度和生长速度较低，三个参量值均匀的区域可作为金刚 石大面积均匀的形核和生长的位置。 |
| 公开日期 | 2012-04-12 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27105]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时. 大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布[J]. 材料研究学报,2000(6):609-614. |
| APA | 宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时.(2000).大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布.材料研究学报(6),609-614. |
| MLA | 宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时."大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布".材料研究学报 .6(2000):609-614. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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