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HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

文献类型:期刊论文

作者宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时
刊名人工晶体学报
出版日期2000-11-30
期号4页码:390-393
关键词金刚石膜 热丝化学气相沉积 红外透射率 晶体形貌
中文摘要本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率。结果表明 ,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带 ;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响。形核表面面对红外光源时 ,由于减少表面散射而透射率较高 ;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率 ,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能。
公开日期2012-04-12
源URL[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27126]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时. HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响[J]. 人工晶体学报,2000(4):390-393.
APA 宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时.(2000).HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响.人工晶体学报(4),390-393.
MLA 宋贵宏,宫骏,孙超,黄荣芳,闻立时."HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响".人工晶体学报 .4(2000):390-393.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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